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凈化資訊

電子半導(dǎo)體類的產(chǎn)品需要的無塵車間潔凈度-清陽工程

電子半導(dǎo)體類的產(chǎn)品對于生產(chǎn)環(huán)境的要求很高,而這類產(chǎn)品又細(xì)分出很多行業(yè),不同行業(yè)對無塵車間潔凈度的要求也不盡相同。

電子半導(dǎo)體類的產(chǎn)品對于生產(chǎn)環(huán)境的要求很高,而這類產(chǎn)品又細(xì)分出很多行業(yè),不同行業(yè)對無塵車間潔凈度的要求也不盡相同。


半導(dǎo)體材料在不同工序中的潔凈度要求各有差異:拉單晶工序的潔凈度通常處于 6 - 8 級;切磨拋工序的潔凈度則為 5 - 7 級;清洗和外延工序的潔凈度需達(dá)到 4 - 6 級。


集成電路(IC)芯片制造過程中,各個工序的潔凈度要求也不盡相同:氧化、擴(kuò)散、清洗、刻蝕、薄膜、離子注入、CMP 等工序的潔凈度為 2 - 5 級;光刻工序的潔凈度為 1 - 5 級;檢測工序的潔凈度處于 3 - 6 級;設(shè)備區(qū)的潔凈度則為 6 - 8 級。


集成電路封裝測試環(huán)節(jié),不同工序的潔凈度要求分別為:通孔、凸塊工序的潔凈度為 5 - 6 級;晶圓檢查、中測、磨片、劃片、粘片、焊線等工序的潔凈度為 6 - 7 級;塑封、成測工序的潔凈度為 7 - 8 級。


微波集成組件(微波集成電路)在制造過程中,工序潔凈度要求如下:內(nèi)部裝配裸芯片的產(chǎn)品需達(dá)到 8 級,航天用微波集成組件則要求達(dá)到 7 級。


印制電路板(PCB)的各工序有著特定的潔凈度標(biāo)準(zhǔn):層壓疊板工序的潔凈度為 6 級,圖形轉(zhuǎn)移(曝光)、照相底板工序的潔凈度為 7 級,阻焊圖形轉(zhuǎn)移(曝光)工序的潔凈度為 8 級。


光導(dǎo)纖維的生產(chǎn)中,各工序的潔凈度要求為:預(yù)制板工序的潔凈度為 6 - 7 級,拉絲工序的潔凈度為 5 - 7 級,光盤制造工序的潔凈度為 6 - 8 級,檢測間的潔凈度為 8 級。


磁頭生產(chǎn)時,其核心區(qū)的潔凈度要求為 5 級,清洗區(qū)的潔凈度要求為 6 級。


高密磁帶制造的工序潔凈度要求為 6 - 8 級,局部區(qū)域甚至要求達(dá)到 5 級。


HDD(微硬盤驅(qū)動器)的制造中,其制造區(qū)的潔凈度要求為 3 - 4 級,其他區(qū)域的潔凈度要求則為 6 - 7 級。


片式陶瓷電容、片式電阻等電子元器件制造時,絲印、流延工序的潔凈度要求為 8 級。


聲表面波器件制造(光學(xué)和電子學(xué)結(jié)合)過程中,光刻顯影工序的潔凈度要求為 5 級,鍍膜、清洗、劃片、封帽等工序的潔凈度要求為 6 級。


微組裝(SMT 等)的各工序潔凈度要求為:環(huán)氧貼裝、再流焊、共晶焊、釬焊、平行縫焊、激光焊、涂覆、真空烘焙等工序的潔凈度需在 8 級以上,引線鍵合、倒裝焊、清洗等工序的潔凈度要求在 7 級以上。


電子儀器、微型計算機(jī)裝配的工序潔凈度要求為 8 級。

清陽工程可以承接十萬級、萬級、千級、百級、十級等多種潔凈度等級,

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